| SEM/EDS | |
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| 解析度 | 1.5 nm at 15kV 2.8 nm at 1 kV |
| 放大倍率 | 範圍 Range 12x – 1,000,000x |
| 圖片畫素 | 3024*2304 pixels |
| 載台尺寸 | X = 125 mm Y = 125 mm Z = 50 mm |
| FTIR | |
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| 晶體種類 | ZnSe |
| 波長範圍 | 4000-650 cm-1 |
| FTIR Microscope | |
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| 樣品尺寸 | 樣品需大於 40um*40um (L*W) |
| 深度解析度 | >0.65µm |
| SEM/EDS Scanning Electron Microscopy (SEM) with Energy Dispersive X-Ray Analysis (EDX) | ||
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| 掃描式電子顯微鏡，又掃描電鏡（Scanning Electron Microscope, SEM）主要是利用微小聚焦的電子束(Electron Beam)進行樣品表面掃描。 此電子束(Electron Beam)與樣品間的交互作用會激發出各種訊號，如: 二次電子、背向散射電子及特性X光等，SEM主要就是收集二次電子的訊號來成像。 | ||
| 應用範圍 |
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| 設備介紹:ZEISS SIGMA | ||
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